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MICROVU 接觸式探針
發(fā)布時(shí)間：2021-07-16
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概述
輔助影像測(cè)量?jī)x完成一些特殊尺寸的測(cè)量，包括：
1.測(cè)量高度：利用測(cè)量頭可以測(cè)量高度的特性來(lái)測(cè)量工件表面的高度差；
2.測(cè)量球體、柱體：利用測(cè)量頭的多方向點(diǎn)接觸可測(cè)量到影像量不到的位置；
3.測(cè)量平面度：利用測(cè)量頭可以測(cè)量高度和速度快的特性來(lái)快速測(cè)量工件表面的平面度。
規(guī)格表
多種觸發(fā)力，使測(cè)頭性能能夠完全符合測(cè)量需求
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模塊 |
SF 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力 |
MF 中測(cè)力 |
EF 高測(cè)力 |
Vertex 261 |
Vertex 341 |
Vertex 342 |
Excel 511 |
Excel 512 |
Excel 701 |
Excel 702 |
Excel 704 |
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TP20-2 |
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TP20-4 |
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TP20-4+ |
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TP20-6 |
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TP20-6+ |
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TP200-2 |
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TP200-4 |
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TP200-4+ |
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TP200-6 |
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TP200-6+ |
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備注：
1. TP20-SF標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力：XY: 0.08N/Z: 0.75N
TP20-MF中測(cè)力：XY: 0.1N/Z: 1.9N
TP20-EF高測(cè)力：XY: 0.1N/Z: 3.2N
TP200-SF標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力：XY: 0.02N/Z: 0.07N
2. 探針精度依照測(cè)針尺寸不同而定。
3. TP20和TP200不可同時(shí)用于同一置換架。
特色
1. 影像測(cè)量系統(tǒng)與接觸式探針系統(tǒng)相結(jié)合，適用于Vertex和Excel系列機(jī)型
2. 多種測(cè)頭模塊，滿足各種測(cè)量應(yīng)用的需求
3. 多座探針置換架，快速自動(dòng)更換測(cè)頭，無(wú)需重新校正
4. InSpec軟件提供直觀的測(cè)頭裝配接口，自動(dòng)測(cè)頭校正和探針置換架
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